芯上微装350nm光刻机通过工艺验证

8月9日消息，上海芯上微装科技股份有限公司 近日宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机已顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并成功获得批量重复订单。早在2025年11月，芯上微装首台AST6200光刻机即已完成出厂调试与验收，正式发往客户现场。该系统由芯上微装自主研发，从底层驱动到上层工艺管理实现100%自主可控，具备强大的工艺扩展能力与远程运维功能，可持续为设备全生命周期赋能，助力客户构建智能化、高效率的产线运营体系。此次批量重复订单的获取，不仅验证了AST6200在真实量产环境中的稳定性和可靠性，也进一步巩固了芯上微装在化合物半导体光刻装备领域的市场地位。

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