脉冲磁控溅射(关于脉冲磁控溅射部分内容简述)

大家好，今天小方来说说一篇关于脉冲磁控溅射，关于脉冲磁控溅射部分内容简述的文章，那么现在就为大家来简单介绍下，希望对各位小伙伴们有所帮助。

1、 脉冲磁控溅射是采用矩形波电压的脉冲电源代替传统直流电源进行磁控溅射沉积。脉冲溅射可以有效地抑制电弧产生进而消除由此产生的薄膜缺陷，同时可以提高溅射沉积速率，降低沉积温度等一系列显著的优点，是溅射绝缘材料沉积的优选工艺过程 。 

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